Is feistí riachtanacha iad caidéil folúis thar go leor tionscail, ó thaighde eolaíoch go déantúsaíocht, agus fiú i bhfearais laethúla. Is é an bunchuspóir atá acu móilíní gáis a bhaint as toirt séalaithe, rud a chruthaíonn folús. Cé go bhfuil an sprioc deiridh mar a chéile, athraíonn na modhanna a úsáidtear chun é seo a bhaint amach, rud a fhágann go ndéantar aicmiú arcaidéal folúisi dtrí phríomhchineál bunaithe ar a bprionsabail oibriúcháin. Tá sé ríthábhachtach na hidirdhealú seo a thuiscint chun an caidéal ceart a roghnú d'iarratas ar leith.
Cineál 1: Caidéil Díláithrithe Dearfach
Is dócha gurb iad caidéil díláithrithe dearfacha an cineál caidéal folúis is iomasach, arb iad is sainairíonna iad a ngníomh meicniúil chun gás a ghabháil agus a dhíbirt.
Prionsabal Oibre
Gabháil Mheicniúil agus Díbirt
Feidhmíonn na caidéil seo trí mhéid seasta gáis a ghabháil go meicniúil ón inlet, é a chomhbhrú, agus ansin é a dhíbirt tríd an asraon. Tá an próiseas seo timthriallach, le gach stróc nó rothlú ag gluaiseacht méid scoite gáis. I measc na meicníochtaí coitianta tá loiní, eití rothlacha, nó scairt.
Oiriúnach do Fholúis Garbh go Meánach
Caidéil díláithrithe dearfachaan-éifeachtach sa raon ó bhrú an atmaisféir síos go leibhéil mheánfholús. Is minic a úsáidtear iad mar chaidéil phríomha chun brú a laghdú sular féidir le cineálacha eile caidéil a bheith i gceannas ar leibhéil níos airde folúis.
Samplaí agus Feidhmchláir tipiciúla
Cineálacha Coitianta: Vane Rothlach, scairt, Caidéil loine
I measc na samplaí tá caidéil eite rothlacha, a úsáideann rótar eccentric rothlach le eití chun gás a scuabadh, aguscaidéil scairt, a úsáideann scairt solúbtha chun súchán agus comhbhrú a chruthú. Titeann caidéil loine sa chatagóir seo freisin.
Micreachaidéil Aeir PinMotor
San earnáil micreachaidéil, tá PinMotor'scaidéal aeir micrea, lena n-áirítearcaidéal folúis micrea, is samplaí den scoth iad de theicneolaíocht díláithrithe dearfach. Úsáidtear na caidéil dhlúth agus éifeachtacha seo go forleathan i bhfeistí leighis, in ionstraimí anailíse, agus i dtrealamh monatóireachta comhshaoil, áit a gcuireann siad brú diúltach beacht ar fáil nó ina n-éascaíonn siad aistriú gáis i gcórais mhionlaigh.
Cineál 2: Caidéil Aistrithe Móiminteam
Feidhmíonn caidéil aistrithe móiminteam ar phrionsabal difriúil, ag brath ar fhuinneamh cinéiteach sruth ardluais chun móilíní gáis a bhogadh.
Prionsabal Oibre
-Imbhuailtí Móilíneacha Ardluais
Feidhmíonn na caidéil seo trí shruth sreabhán ardtreoluas (go minic gal ola nó lanna a rothlaíonn go tapa) a thabhairt isteach sa seomra folúis. Imbhuaileann móilíní gáis a théann isteach sa chaidéal leis an sruth ardluais seo, ag méadú móiminteam, agus mar sin treoraítear iad i dtreo sceite an chaidéil, amach ón bhfolússheomra.
Oiriúnach d'Fholúis Ard go Ultra-Ard
Is éifeachtaí caidéil móiminteam aistrithe ag brúnna níos ísle agus úsáidtear iad go hiondúil chun leibhéil fholús ard go ultra-a bhaint amach. De ghnáth éilíonn siad atosaigh-caidéil(caidéal díláithrithe dearfach) chun an brú a laghdú go dtí leibhéal inar féidir leis an gcaidéal aistrithe móiminteam oibriú go héifeachtach.
Samplaí agus Feidhmchláir tipiciúla
Cineálacha Coitianta: Caidéil Turbomolecular, Caidéil Idirleata
Úsáideann caidéil thurmóilíneacha lanna rótair atá sníomh go tapa chun móiminteam a chur ar mhóilíní gáis, agus úsáideann caidéil idirleata scairdeanna gaile ardtreoluas chun móilíní gáis a thraenáil. Tá an dá rud ríthábhachtach chun brúnna an-íseal a bhaint amach.
Réimsí Iarratais
Tá na caidéil seo fíor-riachtanach i réimsí a éilíonn coinníollacha folúsacha foircneacha, amhail taighde eolaíoch (m.sh., luasairí cáithníní, micreascóip leictreon), déantúsaíocht leathsheoltóra, agus anailís dromchla.
Cineál 3: Caidéil Gabhála/Imghabhála
Feidhmíonn caidéil ghabhála nó gabhála trí mhóilíní gáis a bhaint go fisiciúil as an seomra folúis trí asaithe, comhdhlúthú nó imoibrithe ceimiceacha.
Prionsabal Oibre
Asú Fisiciúil nó Imoibriú Ceimiceach
Murab ionann agus an dá chineál eile a ghluaiseann go fisiciúil gáis, caidéil entrapmentgabháilmóilíní gáis ar dhromchla laistigh den chaidéal. Féadfaidh sé seo tarlú trí mheicníochtaí éagsúla:cryopumpsdromchlaí fionnuara go teocht an-íseal, rud a fhágann go mbíonn móilíní gáis comhdhlúthaithe agus reoite;caidéil ianmóilíní gáis a ianú agus iad a luasghéarú isteach in ábhar getter; aguscaidéil getterábhair atá imoibríoch go ceimiceach a úsáid chun móilíní gáis a ionsú.
Oiriúnach d'Fholúis Ard--
Tá na caidéil seo éifeachtach go háirithe maidir le leibhéil fholús ard (UHV) agus folús ard (XUHV) ultra{0}}ardleibhéil (XUHV) a bhaint amach agus a chothabháil, toisc nach dtugann siad aon pháirteanna gluaiste nó sreabhán oibre isteach i dtimpeallacht an fholús.
Samplaí agus Feidhmchláir tipiciúla
Cineálacha Coitianta: Cryopumps, Caidéil ian, Caidéil Getter
Úsáidtear cryopumps go forleathan i bpróiseáil leathsheoltóra agus i ndlísheomraí insamhalta spáis. B'fhearr le caidéil ian mar gheall ar a n-oibriú glan, saor ó chreathadh i bhfeidhmeanna ar nós luasairí cáithníní agus eolaíocht dromchla. Is minic a úsáidtear caidéil getter mar chaidéil fhorlíontacha chun leibhéil folúis a chothabháil.
Réimsí Iarratais
Tá a bhfeidhmchláir phríomha i dtimpeallachtaí an-íogair ina bhfuil na brúnna is ísle agus is féidir agus an folús is glaine ag teastáil, mar shampla i dtaighde ard-ábhar, sil-leagan scannáin tanaí, agus turgnaimh fuinnimh chomhleá.
Conclúid: Roghnú an Teicneolaíocht Fholúis Ceart
Is cinneadh ríthábhachtach é an caidéal folúis cuí a roghnú a bhraitheann ar roinnt fachtóirí, lena n-áirítear an leibhéal folúis atá ag teastáil, luas caidéalaithe, cineál an gháis atá le haslonnú, cúinsí costais, agus an timpeallacht iarratais ar leith. Tá gach cineál folúis-díláithriú dearfach, aistriú móiminteam, agus gabháil-ar fheabhas i bhfolúsraonta agus feidhmeanna éagsúla.